XLA/XLAV（波紋管密封,單一的表演）Particulate-free和潔凈室兼容煽風(fēng)點(diǎn)火類型Pressure-balance機(jī)制XLC/XLCV（波紋管密封,雙動(dòng)）Particulate-free和潔凈室兼容煽風(fēng)點(diǎn)火類型Pressure-balance機(jī)制XLF/XLFV（o形環(huán)密封,單一的表演）低氣體夾帶就業(yè)的o形環(huán)密封系統(tǒng)高速度響應(yīng)通過(guò)一種特殊的減少顆粒物表面治療的軸封。

日本SMC鋁制高真空L型閥XLG/XLGV（o形環(huán)密封,雙動(dòng)）低氣體夾帶就業(yè)的o形環(huán)密封系統(tǒng)高速度響應(yīng)通過(guò)一種特殊的減少顆粒物表面治療的軸封。

XLD/XLDV（2-Step控制、單表演）初期排氣閥和主要排氣閥結(jié)合起來(lái)。2-step（流量控制閥）設(shè)計(jì)了一種緊湊系統(tǒng)和減少管道防止顆粒湍流內(nèi)0.9%室在疲憊。

防止泵運(yùn)行時(shí)超載。

初始排氣閥流量可調(diào)。

XLH（波紋管密封、手動(dòng)）波紋管式微粒自由及清洗。

壓力平衡機(jī)制允許無(wú)限制排氣的方向。

低驅(qū)動(dòng)力矩（0.5牛頓·米或更少）春天提供標(biāo)準(zhǔn)的密封負(fù)載。

處理高度是一樣的密封圈,當(dāng)閥門開(kāi)啟或關(guān)閉。

確認(rèn)指示器開(kāi)啟和關(guān)閉閥門是標(biāo)準(zhǔn)配置。

波紋管的壓力平衡,XLS（正常關(guān)閉XLS電磁）微粒也會(huì)減少,因?yàn)槟抢餂](méi)有滑動(dòng)金屬部分。

壓力平衡機(jī)制允許無(wú)限制排氣的方向。

控制電源電路的電磁閥驅(qū)動(dòng)已經(jīng)取得了標(biāo)準(zhǔn)。

可以用于便攜式設(shè)備因?yàn)榭諝鉃轵?qū)動(dòng)器是沒(méi)有必要的。

XL系列鋁高真空角閥低的新法成為可能使用一個(gè)低容量泵和也疏散時(shí)間縮短。

這種閥門不包含等重金屬鎳（鎳）或鉻（）和低鉻濺射產(chǎn)量也可幫助重金屬污染zui小化的半導(dǎo)體器件晶圓。

優(yōu)良的熱傳導(dǎo)性的結(jié)果在均勻溫度為整個(gè)閥體、明顯下降在氣體內(nèi)冷凝閥。

問(wèn)囊括的沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)（沒(méi)有內(nèi)建的磁鐵）的話固態(tài)自動(dòng)開(kāi)關(guān)沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)（帶內(nèi)置磁鐵）里德汽車開(kāi)關(guān)（并不適用法蘭尺寸16）汽車開(kāi)關(guān)類型t如何訂購(gòu)象征零D類型西北）滴定（凱西（DN）適用法蘭16日、25名、40名,50歲,63歲,8063,80w法蘭連接式XLAXLA/XLAV系列鋁高真空角閥正常關(guān)閉/波紋管密封問(wèn)法蘭尺寸大小y數(shù)量的汽車開(kāi)關(guān)/安裝的位置象征零ABC數(shù)量沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)2件。

安裝的位置-閥門開(kāi)啟和關(guān)閉開(kāi)啟閥門閥門處于關(guān)閉狀態(tài)r溫度規(guī)格/加熱器象征零高溫度類型H0H2H3溫度5到60°C5到150°C加熱器--用100°C加熱器加熱器和120°C你的身體表面處理/密封材料及其變化的部分密封材料象征零N1*R1R2R3S1T1U1P1密封材料FKM三元乙丙橡膠（EPDM）桶等Kalrez

VMQFKM為等離子體ULTIC裝甲

復(fù)合不。1349-80/2101-80/70WUA46404079SS592SS630SSE381232-70/3310-75

三菱電纜行業(yè)產(chǎn)生的有限責(zé)任公司。

身體表面處理象征零一個(gè)表面處理外部:硬質(zhì)陽(yáng)極化內(nèi)部:原材料外部:硬質(zhì)陽(yáng)極化內(nèi)部:草酸陽(yáng)極氧化桶等是一個(gè)注冊(cè)商標(biāo)的Matsumura石油有限公司。

Kalrez是一個(gè)注冊(cè)商標(biāo)的杜邦公司績(jī)效彈性體。

Chemraz是一個(gè)注冊(cè)商標(biāo)的格林,斜紋軟呢和股份有限公司。

ULTIC裝甲是一個(gè)注冊(cè)商標(biāo)的行業(yè),垂詢。Valqua新日鐵注）尺寸16不適用于H2,H3,25碼的不是為H2。

艾凡指標(biāo)/飛行員港口方向象征零AFGJKLM試點(diǎn)港方向指示器沒(méi)有指標(biāo)與指標(biāo)沒(méi)有指標(biāo)法蘭邊法蘭邊左法蘭面后方法蘭面對(duì)法蘭面左法蘭面后方法蘭面對(duì)法蘭面法蘭邊后方法蘭面左法蘭面對(duì)法蘭面汽車開(kāi)關(guān)并非是適用于高溫規(guī)格（溫度規(guī)格,H2,H3 H0）。標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)聯(lián)線長(zhǎng)度是0.5米。

加入“L”的zui后部分3米,是理想的數(shù)量時(shí),“m”時(shí),可達(dá)1米“Z”當(dāng)5米。

例）-M9NL密封材料改變部分和泄漏象征零ABC改變部分沒(méi)有是別的東西,而不是“零”（標(biāo)準(zhǔn)）,列表的符號(hào)開(kāi)始以緊隨其后的是每個(gè)符號(hào)為“身體表面處理,”

“密封材料”,再選擇“改變分離。”

例）XLA-16-M9NA-XAN1A注2）注1）值在常溫下,不含氣體滲透。

注2）,是指零件數(shù)量的“建構(gòu)”為改變部分14頁(yè)。

部件號(hào)碼的數(shù)字表示“建構(gòu)”進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整。

XLC問(wèn)t y16 M9N一個(gè)你是囊括的鋁高真空角閥雙動(dòng)/波紋管密封XLC/XLCV系列問(wèn)法蘭尺寸大小162540506380y數(shù)量的汽車開(kāi)關(guān)/安裝的位置象征零ABC數(shù)量沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)2件。

安裝的位置-閥門開(kāi)啟和關(guān)閉開(kāi)啟閥門閥門處于關(guān)閉狀態(tài)注）尺寸16不適用于H2,H3,25碼的不是為H2。

象征零汽車開(kāi)關(guān)模型-D-A90（L）D-A93（L）-的話沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)（沒(méi)有內(nèi)建的磁鐵）固態(tài)自動(dòng)開(kāi)關(guān)沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)（帶內(nèi)置磁鐵）里德汽車開(kāi)關(guān)（并不適用法蘭尺寸16）汽車開(kāi)關(guān)類型t艾凡試點(diǎn)港方向象征零KLM試點(diǎn)港方向法蘭邊左法蘭面后方法蘭面對(duì)法蘭面法蘭邊后方法蘭面左法蘭面對(duì)法蘭面r溫度規(guī)格/加熱器象征零高溫度類型H0H2H3溫度5到60°C5到150°C加熱器--用100°C加熱器加熱器和120°C如何訂購(gòu)XLC象征零D類型西北）滴定（凱西（DN）適用法蘭16日、25名、40名,50歲,63歲,8063,80w法蘭連接式密封材料改變部分和泄漏你的身體表面處理/密封材料及其變化的部分密封材料象征零N1*R1R2R3S1T1U1P1密封材料FKM三元乙丙橡膠（EPDM）桶等Kalrez

1349-80/2101-80/0WUA46404079SS592SS630SSE381232-70/3310-75

三菱電纜行業(yè)產(chǎn)生的有限責(zé)任公司。

身體表面處理象征零一個(gè)表面處理外部:硬質(zhì)陽(yáng)極化內(nèi)部:原材料外部:硬質(zhì)陽(yáng)極化內(nèi)部:草酸陽(yáng)極氧化訂購(gòu)的是別的東西,而不是“零”（標(biāo)準(zhǔn)）,列表的符號(hào)開(kāi)始以“X”,緊隨其后的是每個(gè)符號(hào)為“身體表面處理,”

“密封材料”,再選擇“改變分離。”

例）XLC-16-M9NA-XAN1A象征零ABC改變部分沒(méi)有w,ew艾凡泄漏（Pa·立方米/秒或更少）注1）內(nèi)部13×10 - 10（FKM）9注2）注1）值在常溫下,不含氣體滲透。

注2）,是指零件數(shù)目的“建構(gòu)”18頁(yè)上的改變部分。部件號(hào)碼的數(shù)字表示“建構(gòu)”進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整。

汽車開(kāi)關(guān)并非是適用于高溫規(guī)格（溫度規(guī)格,H2,H3 H0）。加入“L”末端的部件編號(hào)當(dāng)3米,是理想的,“m”當(dāng)1米,和“Z”當(dāng)5米。

XLF作出秩序y數(shù)量的汽車開(kāi)關(guān)/安裝的位置象征零ABC數(shù)量沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)2件。

安裝的位置-閥門開(kāi)啟和關(guān)閉開(kāi)啟閥門閥門處于關(guān)閉狀態(tài)r溫度規(guī)格/加熱器象征零高溫度類型H0H2H3溫度5到60°C5到150°C加熱器--用100°C加熱器加熱器和120°C注）尺寸16不適用于H2,H3,25碼的不是為H2。

象征零前（L）A93（L）M9//汽車開(kāi)關(guān)模型-D-A90（L）D-A93（L）-的話沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)（沒(méi)有內(nèi)建的磁鐵）固態(tài)自動(dòng)開(kāi)關(guān)沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)（帶內(nèi)置磁鐵）里德汽車開(kāi)關(guān)（并不適用法蘭尺寸16）汽車開(kāi)關(guān)類型t例）-M9NL汽車開(kāi)關(guān)并非是適用于高溫規(guī)格（溫度規(guī)格,H2,H3 H0）。標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)聯(lián)線長(zhǎng)度是0.5米。加入“L”

zui后的部分,當(dāng)數(shù)字3米,是理想的,“m”當(dāng)1米,和“Z”當(dāng)5米。

密封材料改變部分和泄漏你的身體表面處理/密封材料及其變化的部分密封材料象征零N1*R1R2R3S1T1U1P1密封材料FKM三元乙丙橡膠（EPDM）桶等Kalrez

1349-80/2101-80/70WUA46404079SS592SS630SSE381232-70/3310-75

三菱電纜行業(yè)產(chǎn)生的有限責(zé)任公司。

身體表面處理象征零一個(gè)表面處理外部:硬質(zhì)陽(yáng)極化內(nèi)部:原材料外部:硬質(zhì)陽(yáng)極化內(nèi)部:草酸陽(yáng)極氧化訂購(gòu)的是別的東西,而不是“零”（標(biāo)準(zhǔn)）,列表的符號(hào)開(kāi)始以“X”,緊隨其后的是每個(gè)符號(hào)為“身體表面處理,”

“密封材料”,再選擇“改變分離。”

例）XLF-40-M9NA-XAN1A象征零ABC改變部分沒(méi)有w,ew艾凡泄漏（Pa·立方米/秒或更少）注1）內(nèi)部13×10 - 10（FKM）值在常溫下,不含氣體滲透。

注2）,是指零件數(shù)量的“建構(gòu)”為改變部分第22頁(yè)。

部件號(hào)碼的數(shù)字表示“建構(gòu)”進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整。

注2）訂做的規(guī)格（有關(guān)詳情,請(qǐng)參閱第24頁(yè)至29）20鋁高真空角閥正常關(guān)閉/ o形環(huán)密封XLF/XLFV系列如何訂購(gòu)法蘭邊后方法蘭面左法蘭面對(duì)法蘭面問(wèn)法蘭尺寸大小162540506380100160艾凡指標(biāo)/飛行員港口方向象征零AFGJKLM指標(biāo)沒(méi)有指標(biāo)試點(diǎn)港方向與指標(biāo)沒(méi)有指標(biāo)法蘭邊法蘭邊左法蘭面后方法蘭面對(duì)法蘭面左法蘭面后方法蘭面對(duì)法蘭面象征零D類型西北）滴定（凱西（DN）適用法蘭16日、法蘭連接式象征EVL AV畝嗨你CAV汞148.5117117 3XLA-16-X65艾凡一個(gè)0問(wèn)2:1r7.5鋁高真空角閥/正常關(guān)閉/ o形環(huán)密封系列XLF定制規(guī)格1請(qǐng)咨詢與SMC詳細(xì)尺寸規(guī)格和交貨。

帶旁路閥（法蘭尺寸:80）（40）（40）（40）導(dǎo)聯(lián)線長(zhǎng)度:500毫米（L型:3000毫米）刮刀（FKM）軸封（FKM）飛行員端口:旁路閥門調(diào)節(jié)螺母排氣（初始）調(diào)整1毫米/旋轉(zhuǎn)音高:

Rc1/8試點(diǎn)港:

鎖緊螺母平面寬度在13部件沒(méi)有。

122:13456788 - 18勝2負(fù)910身體閥帽組件o形環(huán)六角套筒頭帽螺絲o形環(huán)計(jì)算機(jī)銘板汽車開(kāi)關(guān)指標(biāo)旁路閥門o形環(huán)o形環(huán)o形環(huán)六角套筒頭帽螺絲A6063指部分沒(méi)有。

M10、l = 60指部分沒(méi)有。

選項(xiàng)選項(xiàng)指部分沒(méi)有。

M4、l = 40描述資料的話o形環(huán)零件號(hào)碼。

密封材料的象征零N1P1*R1R2R3S1T1U1外部密封內(nèi)部密封2:1 ro形環(huán)零件號(hào)碼。

密封材料的象征零N1P1*R1R2R3S1T1U18 - 8勝2負(fù)外部密封內(nèi)部密封外部密封o型注）一層真空油脂（氟油脂:Y-VAC2）應(yīng)用于軸封、刮板和o形環(huán)o型。

B2401-V85VB2401-V85-XN1B2401-V85-XP1B2401-V85-XQ1B2401-V85-XR1B2401-V85-XR2B2401-V85-XR3B2401-V85-XS1B2401-V85-XT1B2401-V85-XU1AS568-045VAS568-045-XN1AS568-045-XP1AS568-045-XQ1AS568-045-XR1AS568-045-XR2AS568-045-XR3AS568-045-XS1AS568-045-XT1AS568-045-XU1B2401-V15VB2401-V15-XN1B2401-V15-XP1B2401-V15-XQ1B2401-V15-XR1B2401-V15-XR2B2401-V15-XR3B2401-V15-XS1B2401-V15-XT1B2401-V15-XU1AS568-025VAS568-025-XN1AS568-025-XP1AS568-025-XQ1AS568-025-XR1AS568-025-XR2AS568-025-XR3AS568-025-XS1AS568-025-XT1AS568-025-XU1AS568-017VAS568-017-XN1AS568-017-XP1AS568-017-XQ1AS568-017-XR1AS568-017-XR2AS568-017-XR3AS568-017-XS1AS568-017-XT1AS568-017-XU1不銹鋼不銹鋼24作出秩序如何訂購(gòu)問(wèn)法蘭尺寸大小162540506380y數(shù)量的汽車開(kāi)關(guān)/安裝的位置象征零ABC數(shù)量沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)2件。

安裝的位置-閥門開(kāi)啟和關(guān)閉開(kāi)啟閥門閥門處于關(guān)閉狀態(tài)注）尺寸16不適用于H2,H3,25碼的不是為H2。

象征零沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)（沒(méi)有內(nèi)建的磁鐵）的話固態(tài)自動(dòng)開(kāi)關(guān)沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)（帶內(nèi)置磁鐵）里德汽車開(kāi)關(guān)（并不適用法蘭尺寸16）汽車開(kāi)關(guān)類型t汽車開(kāi)關(guān)并非是適用于高溫規(guī)格（溫度規(guī)格,H2,H3 H0）。標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)聯(lián)線長(zhǎng)度是0.5米。

加入“L”的zui后部分3米,是理想的數(shù)量時(shí),“m”時(shí),可達(dá)1米“Z”當(dāng)5米。

例）-M9NL問(wèn)e r t y uXLGw16 M9N一個(gè)艾凡試點(diǎn)港方向象征零KLM試點(diǎn)港方向法蘭邊左法蘭面后方法蘭面對(duì)法蘭面后方法蘭面左法蘭面對(duì)法蘭面艾凡大面積AV畝嗨你C AVH G你的身體表面處理/密封材料及其變化的部分密封材料象征零N1*R1R2R3S1T1U1P1密封材料FKM三元乙丙橡膠（EPDM）桶等Kalrez

VMQFKM為等離子體ULTIC裝甲復(fù)合不。1349-80/2101-80/70WUA46404079SS592SS630SSE381232-70/3310-75

三菱電纜行業(yè)產(chǎn)生的有限責(zé)任公司。

身體表面處理象征零一個(gè)表面處理外部:硬質(zhì)陽(yáng)極化內(nèi)部:原材料外部:硬質(zhì)陽(yáng)極化內(nèi)部:草酸陽(yáng)極氧化r溫度規(guī)格/加熱器象征零高溫度類型H0H2H3溫度5到60°C5到150°C加熱器--用100°C加熱器加熱器和120°CXLG鋁高真空角閥雙動(dòng)/ o形環(huán)密封XLG/XLGV系列象征零D類型西北）滴定（凱西（DN）適用法蘭16日、25名、40名,50歲,63歲,8063,80w法蘭連接式法蘭邊密封材料改變部分和泄漏訂購(gòu)的是別的東西,而不是“零”（標(biāo)準(zhǔn)）,列表的符號(hào)開(kāi)始以“X”,緊隨其后的是每個(gè)符號(hào)為“身體表面處理,”

“密封材料”,再選擇“改變分離。”

例）XLG-40-M9NA-XAN1A象征零ABC改變部分沒(méi)有w,ew艾凡泄漏（Pa·立方米/秒或更少）注1）內(nèi)部13×10 - 10（FKM）常溫下,不含氣體滲透。

注2）,是指零件數(shù)量的“建構(gòu)”32頁(yè)為改變的部分。

部件號(hào)碼的數(shù)字表示“建構(gòu)”進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整。

注3）部分e（外部密封）是不可改變規(guī)格為16至25歲。

注2）訂做的規(guī)格（詳情,請(qǐng)參閱第34頁(yè)到43）30作出秩序XLD問(wèn)囊括的如何訂購(gòu)問(wèn)法蘭尺寸大小2540506380艾凡試點(diǎn)港方向象征零KLM試點(diǎn)港方向法蘭邊左法蘭面后方法蘭面對(duì)法蘭面象征零D類型西北）滴定（凱西（DN）適用法蘭25法蘭連接式后方法蘭面左法蘭面對(duì)法蘭面法蘭邊注）25碼的不適用于H2。

r溫度規(guī)格/加熱器象征零高溫度類型H0H2H3溫度5到60°C5到150°C加熱器--用100°C加熱器加熱器和120°Cy數(shù)量的汽車開(kāi)關(guān)/安裝的位置象征零ABC數(shù)量沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)2件。

安裝的位置-閥門開(kāi)啟和關(guān)閉開(kāi)啟閥門閥門處于關(guān)閉狀態(tài)象征零前（L）A93（L）M9//汽車開(kāi)關(guān)模型-D-A90（L）D-A93（L）-的話沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)（沒(méi)有內(nèi)建的磁鐵）固態(tài)自動(dòng)開(kāi)關(guān)沒(méi)有汽車開(kāi)關(guān)（帶內(nèi)置磁鐵）里德汽車開(kāi)關(guān)汽車開(kāi)關(guān)類型t例）-M9NL汽車開(kāi)關(guān)并非是適用于高溫規(guī)格（溫度規(guī)格,H2,H3 H0）。標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)聯(lián)線長(zhǎng)度是0.5米。加入“L”

zui后的部分,當(dāng)數(shù)字3米,是理想的,“m”當(dāng)1米,和“Z”當(dāng)5米。

你的身體表面處理/密封材料及其變化的部分密封材料象征零N1*R1R2R3S1T1U1P1密封材料FKM三元乙丙橡膠（EPDM）桶等Kalrez

Chemraz

VMQFKM為等離子體ULTIC裝甲

三菱電纜行業(yè)產(chǎn)生的有限責(zé)任公司。

身體表面處理象征零一個(gè)表面處理外部:硬質(zhì)陽(yáng)極化內(nèi)部:原材料外部:硬質(zhì)陽(yáng)極化內(nèi)部:草酸陽(yáng)極氧化密封材料改變部分和泄漏訂購(gòu)的是別的東西,而不是“零”（標(biāo)準(zhǔn)）,列表的符號(hào)開(kāi)始以“X”,緊隨其后的是每個(gè)符號(hào)為“身體表面處理,”

“密封材料”,再選擇“改變分離。”

例）XLD-25-M9NA-XAN1A象征零ABC改變部分沒(méi)有魏

注2）,是指零件數(shù)量的“建構(gòu)”頁(yè)47為改變的部分。

部件號(hào)碼的數(shù)字表示“建構(gòu)”進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整。

注3）的變化,以密封材料的部分號(hào)碼r S閥密封總成是*適用規(guī)格為25歲,40到50。

注2）,3）44鋁高真空角閥2-Step控制、單經(jīng)銷商/波紋管密封,o形環(huán)密封帕特。

XLD/XLDV系列XLS 25 - P - 1克XLS - 25 - 5克DTCGDIN終端終端水管Grommet電氣入口95別人（48歲,100伏直流電）24伏直流電起始電壓注）維持電壓是25%的起始電壓。

無(wú)控制電源電源和控制高真空角閥（波紋管壓力平衡,2段電壓開(kāi)關(guān)型）閥門通徑1625KF16KF25控制電源P與控制電源125100伏交流電200伏交流電24伏直流電電壓G Grommet電氣入口警告（1）如沒(méi)有控制電源（XLS-25 - VDC）,開(kāi)始:24/48/100電壓應(yīng)該申請(qǐng)只0.15%到0.2 s,按照規(guī)定的方法（上所注明的線圈）的后面。不斷起始電壓應(yīng)用的原因過(guò)熱的線圈和火?？毓呻妷菏?5%的起始電壓（申請(qǐng)書(shū)嗎方法是顯示在后面的電磁線圈）。

開(kāi)始電壓例）電壓6伏直流電0.15%到0.2時(shí)間（s）24伏直流電控股電壓52鋁高真空角閥電磁/波紋管壓力平衡如何訂購(gòu)系列XLS55常見(jiàn)的選擇項(xiàng)目熱水器額定電壓90到125伏交流電加熱器（名義值）的功率WIn-rush /電力消費(fèi)（期權(quán)標(biāo)志）XL-25-200/30XL-40200/40400/70XL-50200/60400/80XL-63400/100600/130XL-80600/150800/180XL-100800/2201200/300XL-1601200/3501600/400H2 100°CH3 120°C注）的電流就In-rush加熱為幾十秒,然后將平息下來(lái)。

請(qǐng)參閱“維修零件”61頁(yè)為進(jìn)一步的細(xì)節(jié)關(guān)于數(shù)量和類型。

1加熱器常見(jiàn)的閥門加熱器,XLD模型,XLC XLA XLG和XLH,XLF,。

功耗規(guī)格列于下表。

XLXLQD -XVDXGTCYVXMXY3256詞匯密封材料請(qǐng)注意,以下是一般特點(diǎn)和主題改變依靠加工條件。有關(guān)詳情,請(qǐng)與我們manufacturerers密封組件。

粉碎FKM）（新法,低permanent-setting較低和較低的氣體滲透利率,這是的密封材料為高真空。

標(biāo)準(zhǔn)材質(zhì)采用SMC的高真空使用角度三菱電纜行業(yè)閥門有限公司。（沒(méi)有。1349化合物-80）。

明智的做法是選擇一款造型依靠它的應(yīng)用,提出了一種改進(jìn)的材料復(fù)合（因?yàn)?310-75）從而降低體重減薄率與O2等離子體是可用的。

KalrezKalrez是一個(gè)注冊(cè)商標(biāo)的杜邦公司績(jī)效彈性體。

這份材料,perfluoroelastomer（FFKM）,具有優(yōu)良的熱和耐化學(xué)腐蝕性能,但它是大的,permanent-setting特別謹(jǐn)慎是必需的。用改進(jìn)后的變化是可得到的等離子體（O2,CF4）和顆粒電阻,所以它選擇類型是明智的基礎(chǔ)上應(yīng)用。

沒(méi)有。4079化合物:標(biāo)準(zhǔn)Kalre*良、氣體和耐熱性。

ChemrazChemraz是一個(gè)注冊(cè)商標(biāo)的格林,斜紋軟呢和股份有限公司。

這份材料,perfluoroelastomer（FFKM）,具有優(yōu)良的化學(xué)物質(zhì)和等離子體電阻值的稍高的耐熱性比FKM。好幾個(gè)不同的Chemraz是可得到的明智的做法是,選擇基于特定的等離子體被用來(lái)和其他條件,等。

桶桶等是一個(gè)注冊(cè)商標(biāo)等的Matsumura石油有限公司。

Perfluoroelastomer 70W號(hào):化合物（FFKM）而未含有金屬填料?？傻钟H3 NF3。低顆粒發(fā)生在干燥的工藝條件。

ULTICULTIC裝甲盔甲注冊(cè)商標(biāo)是日本Valqua行業(yè),有限公司。

Fluoro-based橡膠,不含金屬填料。密封這是plasma-resistant材料,具有較低的氣體通量密度和耐熱性。

硅橡膠、硅樹(shù)脂（VMQ）這種材料也相對(duì)便宜,具有良好的等離子體阻力,但它的氣體滲透率高。

可選的密封材料用SMC的高真空角閥三菱電纜行業(yè)是有限責(zé)任公司。（沒(méi)有。1232-70化合物,白色）它有一個(gè)低減肥比、低顆粒污染的發(fā)生在O2等離子體和NH3氣體環(huán)境。

三元乙丙橡膠（Ethylenepropylene橡膠）較低的定價(jià),良好的耐候性、化學(xué)和耐熱性,但沒(méi)有抵抗,一般在把所有的礦物油?？蛇x的密封材料所使用的高真空SMC角度三菱電纜行業(yè)閥門有限公司。（復(fù)合不。

2101-80）耐氨氣體等。

優(yōu)良的物理性能,尤其是有效的運(yùn)轉(zhuǎn)件。

適用于固定和移動(dòng)部分和兼容各種各樣的應(yīng)用。

Chemrazzui干凈的資料中,發(fā)達(dá)的高密度等離子體的樂(lè)器。

方法1軸封波紋管波紋管密封與降低粒子提供干凈的世代和更少的新法。兩大類型:Formedbellows慘叫和Welded-bellows。Formed-bellows少產(chǎn)生灰塵灰塵或提供更高的抵抗。Welded-bellows允許中風(fēng),但長(zhǎng)產(chǎn)生更多的塵埃和提供更少灰塵的抵抗。請(qǐng)注意,忍耐取決于長(zhǎng)度和速度的中風(fēng)。

o形環(huán),等。

由于誘導(dǎo)作用對(duì)氣體的生成和微粒、真空性能略遜于波紋管類型。

然而,高速運(yùn)轉(zhuǎn)是可能的和耐用性比較高。一般來(lái)說(shuō),氟油脂加蓋軸封分。

響應(yīng)時(shí)間/操作時(shí)間的開(kāi)啟閥門從應(yīng)用的電壓驅(qū)動(dòng)等閥（XL）直至90%的閥門沖程已經(jīng)完成開(kāi)啟閥門的響應(yīng)時(shí)間。開(kāi)啟閥門操作時(shí)間的從一開(kāi)始就表明了時(shí)間的中風(fēng),直到90%的運(yùn)動(dòng)任務(wù)已經(jīng)完成了。這兩種變得更快了操作壓力增加。

閥門關(guān)閉從切斷了電力的電磁閥的驅(qū)動(dòng)（XL）直至90%的閥門是中風(fēng)已完成回歸閥門關(guān)閉響應(yīng)時(shí)間。閥門關(guān)閉操作時(shí)間的表示從閥門開(kāi)啟度的時(shí)間回來(lái)直到90%的運(yùn)動(dòng)任務(wù)已經(jīng)完成了。這兩種變慢的操作壓力增加。58XL系列特定產(chǎn)品的預(yù)防措施1一定要讀在處理。

設(shè)計(jì)氣動(dòng)角閥/系列（V）,XLC XLA（V）,XLD（V）,XLF（V）,XLG（V）所有模型1。對(duì)于高真空閥門用于主要的排氣管線死板顯示面板的生產(chǎn)設(shè)備和其他大型制造設(shè)備,XLF（V）或XLG（V）系列、用人o形環(huán)密封型,為改善耐久性、是被推薦的。

2。當(dāng)控制閥門的回應(yīng),注意到的尺寸和長(zhǎng)度的管道,以及流量的特點(diǎn)電磁閥的工作。

3。工作壓力應(yīng)保持在規(guī)定的范圍內(nèi)。

0.4 - 0.5 MPa是被推薦的。

4。使用范圍內(nèi)操作壓力范圍。

5。驅(qū)動(dòng)的活塞室和波紋管腔[除了XLF（V）/ XLG（V）]能直接連接到大氣中。

請(qǐng)用在一個(gè)環(huán)境中,粉塵排放將不是根本原因問(wèn)題。（請(qǐng)參閱SMC如果釋放塵埃必須避免的。）高溫/類型,XLC XLA XLD XLG,XLF,,1。在案件的氣體,造成大量的存款,熱閥體閥門,以防止礦床。

選擇小心所有模型1。在高濕度環(huán)境,保持閥門包裝直到時(shí)間安裝。

2。萬(wàn)一與開(kāi)關(guān)和電磁閥,以便確保導(dǎo)線他們有足夠的蕭條的時(shí)候,沒(méi)有任何不合理的力量適用于他們。

3。所以,過(guò)度執(zhí)行管道武力不是用于法蘭部分。萬(wàn)一有振動(dòng)的重的物體或附件,等他們,使轉(zhuǎn)矩、安全不是直接用于法蘭之間。

安裝小心室真空泵波紋管側(cè)閥側(cè)推薦排氣方向[真空泵連接對(duì)波紋管側(cè)）所有模型1。是A6063閥體材料、風(fēng)箱也是不銹鋼的316L、及其他金屬密封材料采用不銹鋼304。標(biāo)準(zhǔn)密封材料的真空區(qū)是FKM,即可其他材料的性質(zhì)發(fā)生變化（請(qǐng)參閱“如何訂購(gòu)”）。

使用流體是兼容與材料后確認(rèn)。

2。選擇材料做的沖動(dòng)的壓力管道,和耐熱性為配件,這適合于適用的操作溫度范圍內(nèi)正常工作。

與汽車開(kāi)關(guān)/ XLA模型（V）,XLC（V）,XLD（V）,XLF（V）,XLG（V）1。開(kāi)關(guān)部分應(yīng)該是保持在一個(gè)溫度沒(méi)有更大的了超過(guò)60°C。

模型,XLC加熱器,XLD/XLA,XLG,XLF1。當(dāng)使用一個(gè)模型,一個(gè)加熱器（熱敏電阻器）,一個(gè)裝置應(yīng)該被安裝,以防止經(jīng)濟(jì)過(guò)熱。

電磁閥/ XLAV模型,XLDV,XLCV,XLGV XLFV,1。為模型,用電磁閥電磁閥的溫度閥門段也應(yīng)不大于50°C。

警告1。安裝前,清潔表面的法蘭密封,打鼾與乙醇等。

2。有一個(gè)0.1至0.2毫米凹陷的為了保護(hù)法蘭密封表面,它應(yīng)該如何處理,使密封表面并沒(méi)有被損壞。

3。排氣方向在運(yùn)行過(guò)程中,方向的排氣可能是確定的在這種情況下的自由,但是流的地方產(chǎn)生的廢氣、在耐久性下降可能的結(jié)果。

排氣方向下面（圖中波紋管的一面排氣）是被推薦的。

請(qǐng)把所有可用的預(yù)防措施,為設(shè)備的使用壽命是受條件的用法。

管道小心4。正常操作,抗震性允許長(zhǎng)達(dá)30米/ s2（45到250赫茲）,但持續(xù)下降振動(dòng)可能引起耐久性。為了避免過(guò)度安排管道振動(dòng)或沖擊的影響。

高溫類型（模型/ XLA XLC XLF,XLD,,,XLG;溫度規(guī)格/ H0,H2,H3）1。在模型與加熱器（熱敏電阻器）,小心不要造成的傷害絕緣零件的導(dǎo)線、連接器的部分。

2。設(shè)置熱水器溫度應(yīng)該建立模型沒(méi)有匯票或隔熱。它將改變不同在條件如熱保留措施和供暖其他的管道。一些細(xì)微調(diào)整,針對(duì)的是不可能的。

3。當(dāng)安裝熱水器配件或安裝一個(gè)加熱器、檢查絕緣電阻在實(shí)際的工作溫度。一個(gè)短線路斷路器或保險(xiǎn)絲應(yīng)該安裝。

4。當(dāng)一個(gè)閥門需要加熱,只有軀體部分應(yīng)該是加熱時(shí),不含蓋部分。

5。當(dāng)一個(gè)加熱器在操作中,整個(gè)閥會(huì)變熱。是小心,不要碰它,因?yàn)槿紵庥檬志蛯?huì)產(chǎn)生。