瑞士VAT閥21.1 氣體計量閥

簡要描述：瑞士VAT閥21.1 氣體計量閥
21.1 氣體計量閥
真空室的受控、可再現(xiàn)氣流引入

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瑞士VAT閥21.1 氣體計量閥

現(xiàn)代氣體計量閥的關(guān)鍵性能指標(biāo)是其可控性以及精確可靠地重現(xiàn)流量設(shè)置的能力。而 21.1 氣體計量閥系列提供了這兩項功能。

21.1 系列有兩種類型，一種用于粗略的氣體計量（DN為10 mm，?"），另一種用于精確的氣體計量（DN 為16 mm，5/8"）；由于其獨立的關(guān)閉和加藥針校準(zhǔn)功能，21.1 系列可在不丟失定義流量設(shè)置的情況下關(guān)閉。使用針校準(zhǔn)方向盤，可以將針位置和流量設(shè)置微調(diào)成所需設(shè)置。由于打開/關(guān)閉機構(gòu)的運行獨立于計量機構(gòu)，此設(shè)置可在閥門開啟和關(guān)閉期間維持。

21.1系列已經(jīng)在各種工藝條件下進行了數(shù)千次要求苛刻的應(yīng)用測試，證明了可靠性。

21.1氣體計量閥有兩種類型，分別用于粗略氣體計量（DN 為10 mm，?"）和手動方向盤驅(qū)動的精確氣體計量（DN 為16 mm，5/8"）。粗略氣體計量閥體為鋁材質(zhì)，精確氣體計量閥體由不銹鋼制成。兩種類型都有 ISO-KF 法蘭。精確氣體計量閥有額外的過濾器真空側(cè)。

瑞士VAT閥21.1 氣體計量閥

21.1 氣體計量閥主要特點

流量控制范圍廣
集成截止閥
可在不丟失流量設(shè)置的情況下關(guān)閉

優(yōu)勢：

可靠性和使用壽命
出色的可控性
購置成本低
瑞士VAT閥21.1 氣體計量閥

技術(shù)數(shù)據(jù)

		粗略氣體計量閥	精確氣體計量閥
泄漏率	閥體、閥座	1× 10-8 mbar ls-1	1× 10-9 mbar ls-1
壓力范圍		1 × 10-7 mbar to 4 bar (絕對壓強)	1 × 10-7 mbar to 2.5 bar (絕對壓強)
可控氣流		最小為 40mbar l/s 最大為 1700mbar l/s	最小為5 × 10-6 mbar l/s 最大為1000 mbar l/s
死區(qū)		-	0.032 cm3
溫度		烘烤 ≤100℃	運行 ≤80℃ 烘烤 ≤100℃
材料	閥體	EN AW-6082 T6	AISI 304 (1.4301)
	驅(qū)動器	塑料（聚甲醛）	塑料（聚甲醛）
	計量套筒	-	含氟聚合物
密封		氟橡膠	氟橡膠
安裝位置		任何位置	任何位置
重量		0.2 kg/0.44 lbs	0.4 kg/0.88 lbs