瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥

簡要描述：瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥
59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥
滿足超高真空要求

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瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥

適用于最小氣流的高精度計量59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥可以精確控制極小的氣流（1 × 10-10 mbar ls-1 至 500 mbar ls-1）。該系列閥門采用全金屬設計，是滿足超高真空和超高真空工藝中氣體計量要求的理想選擇。

59.0 系列的特殊控制功能確保可重復的精確氣流設置，增強了過程控制能力。其還能在整個使用壽命內(nèi)提供可靠的密封關閉，不會出現(xiàn)任何密封疲勞風險。

此外，59.0 系列采用全金屬設計（高級不銹鋼閥體和鍍金不銹鋼薄膜閘封），因此具有出色的抗腐蝕性和抗腐蝕性氣體特性。

59.0 系列已經(jīng)安裝在數(shù)百個各種工藝條件下的要求苛刻的應用中，證明了其可靠性。其已成為超高真空和真空應用中可變泄漏閥的標準解決方案。

59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥提供 DN為16 mm (5/8") 的角閥或內(nèi)聯(lián)閥，帶手動驅(qū)動器，或帶配有步進電機的集成式或可拆卸壓力控制器。59.0 系列最高可烘烤至300℃。根據(jù)烘烤過程中的情況，可以在烘烤過程中取下驅(qū)動器。標準法蘭為 CF-R，固定到位。

隔膜采用“硬對硬"密封技術，閥門在整個使用壽命內(nèi)可進行 40 萬次控制循環(huán)和 1 萬次密封關閉循環(huán)，無需任何維護，其可作為零部件使用，并且易于更換。

瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥

59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥主要特點

特點：

適用于最小氣流的高精度氣體計量
精確可重復的氣流設置
可靠的持續(xù)密封
耐腐蝕和腐蝕性氣體

優(yōu)勢：

在極小氣流下可實現(xiàn)最佳壓力控制
工藝可控性增強
正常運行時間長
瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥

技術數(shù)據(jù)

尺寸			DN 16 (?")
驅(qū)動器	手動		方向盤
	帶步進電機的集成式或可拆卸壓力控制器
閥體材料			不銹鋼
標準法蘭			CF-R
密封技術			隔膜
泄漏率	閥體		< 1 × 10-10 mbar ls-1
	閥座		< 1 × 10-10 mbar ls-1
壓力范圍			超高真空至 2bar（絕對壓強）
壓差	打開時		≤ 10 bar
死區(qū)	角閥：	閥座側側端口	2.7 cm3 1.1 cm3
	內(nèi)聯(lián)閥：	閥座側側端口	0.98 cm3 1.01 cm3
首維護前開關次數(shù)			20 000
烘烤溫度	閥體		≤ 300 °C
	手動驅(qū)動器		≤ 300 °C
	帶步進電機的控制器		≤ 50 °C
加熱和冷卻速率			≤ 60 °C h-1
材料	閥體		AISI 660 (1.4943), AISI 316L (1.4404)
	隔膜		AISI 301 (1.4310), 鍍金
安裝位置			任何位置
閥門位置指示			視覺（比例）
流導（分子流）			0.05 ls-1
可調(diào)節(jié)氣流			1 × 10-10 mbar ls-1 至 500 mbar ls-1
重量	帶手動驅(qū)動器		0.94 kg / 2.07 lbs
	帶受控步進電機		2.5 kg / 5.5 lbs